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½ÇÀûR&D Performance
  • 2005. 06. 14»ê¾÷ÀÚ¿øºÎ ÄÜÅ©¸®Æ® ±â¼ú°æ¿¬´ëȸ ´ë»ó (¿øÂù½Ä ¿Ü 2¸í)
  • 2006. 07. 20Æ÷½ºÄÚ¢ß ±¹³» ÃÖÃÊ ±¹»ê ¿øÀç·á »ç¿ë ÃÊ°í°­µµ ÄÜÅ©¸®Æ®(100Mpa) »ý»ê ¼º°ø
  • 2015. 12. 28¿À¿°Àú°¨ È°µ¿ Ãáõ½Ã ǥâ
  • 2017. 12. 08ÇÑÈ­°Ç¼³ ½Å¼­ÃµÈ­·Â Åä°Ç°ø»ç ¿ì¼öÁ¦ÀÛ»ç ǥâ
  • 2018. 04. 19»ï¼º¹°»ê ÆòÅà FAB2 ¿ì¼öÁ¦ÀÛ»ç ǥâ, »ï¼º¹°»ê ÆòÅà EUV ¿ì¼öÁ¦ÀÛ»ç ǥâ
  • 2020. 04. 13ȯ°æ¼ºÀûÇ¥Áö ÀÎÁõ(25-21-150, 25-24-150, 25-27-150)